超纯水的定义

超纯水是一种电阻率极高的水，其标准是电阻率达到18 MΩ*cm（25℃）。这种水中的杂质含量极低，几乎没有无机离子、有机物、胶体物质、气体和微生物。超纯水通过一系列精细的处理过程，如蒸馏、去离子化、反渗透技术、超纯化处理以及后级处理等步骤，包括多级过滤、高性能离子交换单元、超滤过滤器、紫外灯、除TOC装置等，以去除水中的所有电介质和不溶解物质。

超纯水在科学研究和工业应用中非常重要，例如在半导体工业中用于清洗半导体原材料和器皿、制备光刻掩模版、作为硅片氧化用的水汽源等。由于其极高的纯净度，超纯水也用于高精度实验室，如ICP/MS分析、同位素分析等，以及作为药品检验、环境监测等地方的高标准用水。

需要注意的是，虽然超纯水纯净，但它不含人体所需的矿物质微量元素，因此不适合直接饮用。在某些情况下，超纯水可能会从容器中析出一些对人体有害的离子，所以使用时要格外小心

其他小伙伴的相似问题：

超纯水和纯水的电阻率有何不同？

超纯水在半导体工业中的应用有哪些？

如何区分超纯水和纯水？